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本发明公开了光伏领域内的一种沉积镀膜设备及工艺，包括外密闭腔室，内密闭反应腔结构，内密闭反应腔升降机构，传送机构，气体控制系统。其中1.采用导磁屏蔽材料的内外双腔体结构，能多层有效的屏蔽地效磁场及周边电磁场，获取设备内部稳定反应场，进而提高...
该专利属于江苏舜大新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏舜大新能源科技有限公司授权不得商用。

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