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本实用新型提供了一种喷淋头，包括：分流板组和框架；所述分流板组包括第一分流板和第二分流板；所述第一分流板和所述第二分流板均开设有若干第一分流孔；所述第一分流板和所述第二分流板设置的第一分流孔的孔径不同或孔隙密度不同，以使气体经过所述第一分流...
该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。

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