下载一种金属性过渡金属硫属化合物薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:36502495

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本发明涉及一种金属性过渡金属硫属化合物薄膜的制备方法,属于纳米材料制备技术领域。通过在二维半导体性过渡金属硫属化合物二元合金薄膜CVD生长过程中引入VB族过渡金属元素(如V,Nb或Ta)掺杂,调控VB族与VIB族过渡金属元素之间的比例,生成...
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