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本实用新型提供了一种基板双面清洗系统。该系统包括前端对接装置、传输装置、第一清洗装置和第二清洗装置，通过前端对接装置实现系统与内外部空间的对接和基板的交换，通过传输装置实现将待清洗的基板输送至第一清洗装置和第二清洗装置的移动过程，实现经第一...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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