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本发明提供一种贴合晶圆用支撑基板，其为用于将活性层用基板（13）与支撑基板（23）隔着绝缘膜（11）贴合而成的贴合晶圆（30）的支撑基板（23），具备支撑基板主体（20）和堆积在支撑基板主体（20）的贴合面侧的多晶硅层（22），多晶硅层（2...
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