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本发明涉及一种制造检测装置(1)的方法，包括以下步骤：使用矿物牺牲层(61、62)制造热检测器(20)和封装结构(30)；使用酸性介质中的湿化学酸蚀部分地去除矿物牺牲层(61、62)，以释放热检测器(20)并获得外围壁(32)，以及释放封装...
该专利属于原子能和替代能源委员会所有，仅供学习研究参考，未经过原子能和替代能源委员会授权不得商用。

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