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描述了一种用于产生对准信号的方法。所述方法包括检测对准标记的局部尺寸变形、和基于所述对准标记来产生所述对准信号。基于所述对准标记的局部尺寸变形，对所述对准信号进行加权。检测所述局部尺寸变形包括：利用辐射来照射所述对准标记，所述对准标记包括几...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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