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本发明提供一种防护薄膜框架(1)，其为具有设置防护薄膜膜片的上端面(13)及面向光掩模的下端面(14)的框状的防护薄膜框架(1)，其中，所述防护薄膜框架(1)为金属制，并且自外侧面朝向内侧面设置开放上端面(13)或下端面(14)的切口部(2...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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