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临时固定用层叠膜及其制造方法、临时固定用层叠体以及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:36493586
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本发明公开一种用于临时固定半导体部件和支承部件的临时固定用层叠膜的制造方法。该临时固定用层叠膜的制造方法具备如下工序:在金属箔的一面侧设置第1固化性树脂层且在所述金属箔的另一面侧设置第2固化性树脂层以获得临时固定用层叠膜。并且,本发明还公开...
该专利属于昭和电工材料株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过昭和电工材料株式会社授权不得商用。
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