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电子源、电子枪以及带电粒子束装置制造方法及图纸
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下载电子源、电子枪以及带电粒子束装置的技术资料
文档序号:36491301
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一种电子源,具备在沿着中心轴的方向上的一侧端部具有开口部的抑制电极以及前端从开口部突出的电子发射材料,其中,抑制电极在比开口部靠外周方向的位置还具备后退部,该后退部在沿着中心轴的方向上后退至比开口部远离电子发射材料的前端的位置,后退部的至少...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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