下载一种定向涂层生长石墨工装的技术资料

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本实用新型公开了一种定向涂层生长石墨工装,包括支撑石墨坩埚的支撑件和密封机构,石墨坩埚以开口朝下的方式放置于支撑件上,支撑件与石墨坩埚的开口边缘接触,密封机构包裹石墨坩埚的开口边缘和外壁并使石墨坩埚的开口外露以导入涂层原料。本实用新型通过密...
该专利属于湖南泰坦未来科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南泰坦未来科技有限公司授权不得商用。

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