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本实用新型涉及单晶硅刻蚀技术领域，尤其是涉及一种传感器单晶硅刻蚀过程中的片架定位装置，包括蚀刻箱，蚀刻箱内设有周向分布的三组用于固定单晶硅的水平传输夹持组件，三组水平传输夹持组件通过伸缩调节臂与蚀刻箱连接，水平传输夹持组件包括驱动电机、传动...
该专利属于苏州星格纳测控技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州星格纳测控技术有限公司授权不得商用。

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