下载运输机构以及测试装置的技术资料

文档序号:36478761

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本申请涉及半导体测试技术领域,特别涉及一种运输机构以及测试装置。该运输机构包括驱动组件、带传动组件和链传动组件:带传动组件与驱动组件传动连接,且带传动组件安装于第一温度环境中;链传动组件与带传动组件传动连接,且链传动组件安装于第二温度环境中...
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