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本实用新型提供一种降低直拉单晶复投碳含量的装置,可移动式设置在单晶炉内导流筒的内表面,包括内导本体和提升杆,所述内导本体设置在所述内导流筒的内表面,所述提升杆一端与所述内导本体顶部连接,另外一端穿过所述单晶炉的炉盖并设有提升模块,所述提升模...该专利属于内蒙古中环领先半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种降低直拉单晶复投碳含量的装置,可移动式设置在单晶炉内导流筒的内表面,包括内导本体和提升杆,所述内导本体设置在所述内导流筒的内表面,所述提升杆一端与所述内导本体顶部连接,另外一端穿过所述单晶炉的炉盖并设有提升模块,所述提升模...