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本发明提供了一种晶片检测台及检测方法,涉及晶片检测台技术领域。包括:底盒和用于承载待检晶片的检测盘,检测盘位于底盒的上方,对正机构安装在底盒上,用于将检测盘上的待检晶片对正放置,驱动机构安装在底盒上并与检测盘传动连接,驱动机构能够使检测盘转...该专利属于青岛立昂晶电半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛立昂晶电半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种晶片检测台及检测方法,涉及晶片检测台技术领域。包括:底盒和用于承载待检晶片的检测盘,检测盘位于底盒的上方,对正机构安装在底盒上,用于将检测盘上的待检晶片对正放置,驱动机构安装在底盒上并与检测盘传动连接,驱动机构能够使检测盘转...