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本申请涉及一种掩模版保护装置及掩模结构。本申请提供的掩模版保护装置，包括：保护框，设置于掩模版的至少一侧；以及，保护膜，无胶键合于所述保护框背离所述掩模版的表面，并密封所述保护框的开口。本申请提供的掩模版保护装置，能够避免由于保护膜与保护框...
该专利属于上海传芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海传芯半导体有限公司授权不得商用。

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