下载一种MEMS压力传感器的技术资料

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公开了一种MEMS压力传感器,MEMS压力传感器,包括:衬底;红外光源,位于所述衬底上;热电堆结构,位于所述衬底上,其与所述红外光源相互分离;键合层,位于所述介质层上,围绕所述红外光源和所述热电堆结构;反射层,位于所述键合层远离所述介质层的...
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