下载一种氧化镓器件用欧姆接触复合电极及其制备方法的技术资料

文档序号:36434846

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本发明公开了一种氧化镓器件用欧姆接触复合电极及其制备方法,实现与氧化镓材料形成欧姆接触的复合电极,与氧化镓材料形成欧姆接触的复合电极结构采用低阻复合中间层
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