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自动晶圆缺陷检测方法、系统、设备及存储介质技术方案
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文档序号:36434344
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本发明涉及集成电路制造领域,尤其涉及一种自动晶圆缺陷检测方法、系统、设备及存储介质。应用于分布式检测设备中,所述分布式检测设备与晶圆生产机台一一对应,该方法包括:获取待检测晶圆的晶圆图像;获取所述分布式检测设备对应的学生网络模型;将所述晶圆...
该专利属于昆山润石智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山润石智能科技有限公司授权不得商用。
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