下载一种闭合磁路薄膜电感器及其制备方法的技术资料

文档序号:36433902

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本发明涉及电子元件技术领域,具体为一种闭合磁路薄膜电感器及其制备方法,包括:闭合电感器基片,闭合电感器基片采用N型硅片制成,闭合电感器基片的顶面和顶面均开设有用于安装铜导线的导线嵌设槽,导线嵌设槽呈S型走线,导线嵌设槽截面与铜导线的截面尺寸...
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