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本发明提供了一种中红外片上激光雷达模块及制备方法，其中，所述中红外片上激光雷达模块包括硅衬底、以及键合集成设置在所述硅衬底上且形成田字形分布的氮化硅波导芯片、中红外量子级联激光器芯片、中红外量子级联探测器芯片以及驱动电路芯片，并且在所述硅衬...
该专利属于深圳市尘晰科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市尘晰科技有限公司授权不得商用。

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