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本发明涉及异质结HJT电池的制备方法、异质结HJT电池、异质结HJT电池加工系统，采用SiH4+H2+CO2混合气体制备微晶硅诱导层，引入的CO2借助于原子氢分解，以OH基团进入薄膜，对薄膜的晶化起到一定的抑制作用，在大面积生长工艺条件下使...
该专利属于常州捷佳创精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州捷佳创精密机械有限公司授权不得商用。

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