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本实用新型公开了一种高效蚀刻槽，包括槽体，所述槽体底部设置有安装框，所述安装框之间设置有半导体制冷片以及导热板，所述半导体制冷片设置于导热板顶部，所述安装框左右两侧顶部对称设置有第一固定板，所述第一固定板底部对称设置有第一固定栓，且所述第一...
该专利属于苏州施密科微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州施密科微电子设备有限公司授权不得商用。

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