下载一种半导体晶圆简易转置工具的技术资料

文档序号:36422042

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本发明提供一种半导体晶圆简易转置工具,底座的上方一端设置有挡板,底座的上方另一端设置有载物台,挡板靠近载物台的一侧端面上包裹有胶带,载物台上分别设置有周转片盒、放料片盒,周转片盒与放料片盒的内部结构相同,周转片盒的开口端与放料片盒的开口端接...
该专利属于上海中欣晶圆半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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