下载一种防止石墨坩埚变形导致漏硅的装置及石墨坩埚的技术资料

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本实用新型提供一种防止石墨坩埚变形导致漏硅的装置及石墨坩埚,包括第一配合部、第二配合部和连接部,其中,第一配合部与第二配合部分别与连接部连接,且第一配合部与第二配合部分别位于连接部的两侧;第一配合部与石墨坩埚的任一瓣坩埚连接,第二配合部与石...
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