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本实用新型涉及抛光装置的技术领域，特别是涉及半导体材料的化学机械减薄抛光装置，其便于固定抛光垫，提高工作效率，增强实用性；包括抛光机本体和固定机构，固定机构安装在抛光机本体上；固定机构包括两组支板、两组顶板、两组压杆、两组限位环和两组弹簧，...
该专利属于北京中科百测检测技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科百测检测技术有限公司授权不得商用。

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