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一种溅射设备包括：背板，支撑溅射靶；磁体模块，设置在所述背板下方并且包括在第一方向上往复运动的磁体单元；第一屏蔽构件，附接在所述磁体单元的一部分上，与所述磁体单元一起移动；保护片，设置在所述背板与所述磁体模块之间；以及第二屏蔽构件，设置在所...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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