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一种用于晶圆加工的清洗机制造技术
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下载一种用于晶圆加工的清洗机的技术资料
文档序号:36404076
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本实用新型公开的属于晶圆清洗设备技术领域,具体为一种用于晶圆加工的清洗机,包括机壳和四个对接板,所述机壳的内腔底部左侧及后侧均安装有旋转机构,两侧所述旋转机构的内腔底部安装有电磁铁,所述机壳的内腔底部安装有旋转升降机构,所述旋转升降机构的上...
该专利属于沈阳汉为科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳汉为科技有限公司授权不得商用。
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