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一种多晶硅异常监测方法、装置及相关设备制造方法及图纸
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下载一种多晶硅异常监测方法、装置及相关设备的技术资料
文档序号:36403909
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本申请提供一种多晶硅异常监测方法、装置及相关设备,其中,所述方法包括:获取第一监控图像,其中,所述第一监控图像包括第一位置的图像,所述第一位置为反应炉内用于放置硅棒的位置;对所述第一监控图像进行图像分析,获得多个候选点;将所述多个候选点中对...
该专利属于内蒙古新特硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古新特硅材料有限公司授权不得商用。
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