下载一种肖特基和FRD集成的IGBT及其制备方法的技术资料

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本发明提出了一种肖特基和FRD集成的IGBT及其制备方法,本发明的肖IGBT的第一表面采用肖特基结构,IGBT的第二表面上与肖特基结构的沟槽的正对的区域注入P
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