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本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，公开了一种密封门结构，包括密封门本体、密封圈以及冷却管路。密封门本体转动连接于镀膜腔体的开口处；密封圈设置于密封门本体，当密封门本体封闭镀膜腔体的开口时，密封圈抵靠镀膜腔体的开口边沿；冷却管路设置于密封门...
该专利属于拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司授权不得商用。

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