密封门结构及真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术属于真空镀膜设备技术领域，公开了一种密封门结构，包括密封门本体、密封圈以及冷却管路。密封门本体转动连接于镀膜腔体的开口处；密封圈设置于密封门本体，当密封门本体封闭镀膜腔体的开口时，密封圈抵靠镀膜腔体的开口边沿；冷却管路设置于密封门本体，冷却管路用于冷却密封门本体和密封圈。该密封门结构能够保证高温真空腔体的密封效果，提升密封可靠性且使用寿命长。封可靠性且使用寿命长。封可靠性且使用寿命长。

【技术实现步骤摘要】
密封门结构及真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
，尤其涉及一种密封门结构。

技术介绍

[0002]太阳能电池制造工序的核心工艺包括薄膜沉积工艺，薄膜沉积工艺必须在真空镀膜设备的镀膜腔体中进行。镀膜过程必须保证镀膜腔体内处于真空状态，且镀膜过程中会产生大量的热量，影响镀膜腔体的真空度。
[0003]目前，仅通过在腔体门等结构上设置密封圈的方式保持高温状态下的腔体的真空度。但是，上述密封圈一般采用橡胶等材质，在高温条件下容易丧失密封性能，进而影响腔体内的密封效果。
[0004]因此，亟需一种密封门结构及真空镀膜设备，以解决以上问题。

技术实现思路

[0005]根据本技术的一个方面，目的在于提供一种密封门结构，该密封门结构能够保证高温真空腔体的密封效果，提升密封可靠性且使用寿命长。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]密封门结构，包括：密封门本体、密封圈以及冷却管路；所述密封门本体转动连接于镀膜腔体的开口处；所述密封圈设置于所述密封门本体，当所述密封门本体封闭所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.密封门结构，其特征在于，包括：密封门本体(100)，所述密封门本体(100)转动连接于镀膜腔体(11)的开口处；密封圈(200)，所述密封圈(200)设置于所述密封门本体(100)，当所述密封门本体(100)封闭所述镀膜腔体(11)的开口时，所述密封圈(200)抵靠所述镀膜腔体(11)的开口边沿；冷却管路(300)，所述冷却管路(300)设置于所述密封门本体(100)，所述冷却管路(300)用于冷却所述密封门本体(100)和所述密封圈(200)。2.根据权利要求1所述的密封门结构，其特征在于，所述密封门结构还包括驱动机构(400)，所述驱动机构(400)安装于镀膜腔体(11)的外侧壁上，被配置为驱动所述密封门本体(100)的转动。3.根据权利要求2所述的密封门结构，其特征在于，所述冷却管路(300)包括进水管部(310)和出水管部(320)，所述冷却管路(300)布置于所述密封门本体(100)，所述进水管部(310)和所述出水管部(320)均位于所述密封门本体(100)的顶部，所述进水管部(310)用于连通供水设备，所述出水管部(320)用于连通集水设备。4.根据权利要求3所述的密封门结构，其特征在于，所述冷却管路(300)对应于所述密封圈(200)的安装位置，所述冷却管路(300)的形状与所述密封圈(200)的形状相匹配。5.根据权利要求2所述的密封门结构，其特征在于，所述密封门结构还包括门轴组件(500)，所述门轴组件(500)连接于所述驱动机构(400)，所述驱动机构(400)被配置为驱动所述门轴组件(500)转动，所述密封门本体(100)连接于所述门轴组件(500)，所述门轴组件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹤囡，戴佳，林佳继，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：