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本发明涉及一种异常检测装置，具备：AE传感器(61)，设于对载置于上部的玻璃板(G)进行加工的研磨平台(20)；浆料流路(29)，在研磨板(40)的上表面(40a)开口并与AE传感器(61)的检测面(63)相连；液体供给装置(12)，向浆料...
该专利属于AGC株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过AGC株式会社授权不得商用。

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