本发明专利技术涉及一种异常检测装置，具备：AE传感器(61)，设于对载置于上部的玻璃板(G)进行加工的研磨平台(20)；浆料流路(29)，在研磨板(40)的上表面(40a)开口并与AE传感器(61)的检测面(63)相连；液体供给装置(12)，向浆料流路(29)供给浆料(S)，使浆料(S)介于玻璃板(G)与检测面(63)之间并从研磨板(40)的上表面(40a)送出；以及异常检测部(17)，基于来自经由浆料(S)对来自玻璃板(G)的弹性波进行检测的AE传感器(61)的检测信号来判定玻璃板(G)的异常的有无。并且，涉及一种异常检测方法以及包括该异常检测方法的玻璃板的生产方法。异常检测方法的玻璃板的生产方法。异常检测方法的玻璃板的生产方法。
【技术实现步骤摘要】
异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法
[0001]本专利技术涉及异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法。
技术介绍
[0002]例如，在对于用于LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)或OLED(Organic Light
‑
Emitting Diode：有机发光二极管)等的平板显示器(FPD：Flat Panel Display)用的玻璃板的各种加工中，在少数情况下会在玻璃板中产生裂缝等损伤。因此，作为对玻璃板进行研磨的研磨装置，已知有具备早期对玻璃板的裂缝进行检测的检测装置的装置(例如参照专利文献1)。
[0003]该检测装置具备向玻璃板供给液体的液体供给部、配置于与液体接触的位置的AE传感器、对从检测到来自玻璃板的弹性波的AE传感器输入的AE信号进行处理的信号处理部。并且，在该检测装置中，信号处理部通过来自AE传感器的AE信号超过规定的阈值来判断玻璃板的裂缝。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2020
‑
185659号公报
[0007]上述专利文献1中记载的检测装置具有在研磨平台的上表面开口并与AE传感器相连的浆料流入孔，供给到研磨垫的浆料流入浆料流入孔并填充。由此，成为浆料介于AE传感器的检测面与玻璃板的被研磨面之间的状态，在该状态下对来自玻璃板的弹性波进行检测。
[0008]另外，在上述的检测装置中，在浆料流入孔内的浆料中混入空气时，有可能弹性波的传播被混入到该浆料中的空气阻挡，难以对玻璃板的微小的裂缝等异常进行检测。并且，有可能浆料中包含的固体粒子会堆积于AE传感器的检测面，基于AE传感器的玻璃板的裂缝的检测精度下降。
[0009]因此，本专利技术的目的在于提供一种能够高精度地检测对于被加工物的各种加工时的异常的异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法。
技术实现思路
[0010]本专利技术由下述结构构成。
[0011](1)一种异常检测装置，具备：
[0012]AE传感器，设于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台；
[0013]流路，在所述加工台的上表面开口并与所述AE传感器的检测面相连；
[0014]液体供给部，向所述流路供给液体，使所述液体介于所述被加工物与所述检测面之间并从所述加工台的上表面送出；以及
[0015]异常检测部，基于来自经由所述液体对来自所述被加工物的弹性波进行检测的所述AE传感器的检测信号来判定所述被加工物的异常的有无。
[0016](2)一种异常检测方法，其中，
[0017]将AE传感器设置于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台，
[0018]通过供给流路向在所述加工台的上表面开口并与所述AE传感器的检测面相连的流路供给液体，使所述液体介于所述被加工物与所述检测面之间并从所述加工台的上表面送出，
[0019]利用所述AE传感器经由所述液体对来自所述被加工物的弹性波进行检测，
[0020]基于来自所述AE传感器的检测信号来判定所述被加工物的异常的有无。
[0021](3)一种玻璃板的生产方法，其包括上述(2)的异常检测方法。
[0022]专利技术效果
[0023]根据本专利技术的异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法，能够高精度地检测对于被加工物的各种加工时的异常。
附图说明
[0024]图1是应用本专利技术的异常检测装置的研磨装置的概略结构图。
[0025]图2是应用本专利技术的异常检测装置的研磨装置的概略侧视图。
[0026]图3是研磨装置的局部的剖视图。
[0027]图4是设于研磨平台的传感器部的剖视图。
[0028]图5是AE传感器的立体图。
具体实施方式
[0029]以下，关于本专利技术的实施方式，参照附图并详细地进行说明。
[0030]需要说明的是，在本例中，例示检测对由玻璃板构成的被加工物进行研磨时的裂缝的情况来说明本专利技术的异常检测装置以及异常检测方法。
[0031]图1是应用本专利技术的异常检测装置的研磨装置的概略结构图。图2是应用本专利技术的异常检测装置的研磨装置的概略侧视图。图3是研磨装置的局部的剖视图。
[0032]如图1以及图2所示，研磨装置(异常检测装置)10是对形成为矩形状的玻璃板(被加工物)G进行研磨的装置。通过该研磨装置10来研磨的玻璃板G例如由用于LCD(Liquid Crystal Display)或OLED(Organic Light
‑
Emitting Diode)等的平板显示器(FPD：Flat Panel Display)用的无碱玻璃系材料构成。该玻璃板G是例如单边为2000mm
×
2200mm～2200mm
×
2600mm且厚度0.7mm的玻璃板，例如用浮法制造。研磨装置10对玻璃板G进行研磨，研磨成各种用途所需要的平坦度。
[0033]研磨装置10具备研磨平台20、研磨板40、研磨头50，由研磨平台20和研磨板40构成加工玻璃板G的加工台。研磨平台20形成为俯视圆形状，在其上表面设置研磨板40。研磨头50配置在研磨平台20的上部。玻璃板G在设置于研磨平台20的研磨板40的上部配置，由研磨头50按压于研磨板40。在研磨头50，在其上部中央设有主轴51，在该主轴51连结有旋转/升降装置53。旋转/升降装置53与对研磨装置10的整体进行总括控制的控制部11连接，通过该控制部11将转速以及下降动作(按压力)控制成玻璃板G的研磨所优选的状态。
[0034]如图3所示，在研磨平台20形成有在上表面开口的多个吸引孔31以及多个浆料供给孔33。在吸引孔31连接有抽吸泵(省略图示)，在浆料供给孔33连接有例如供给氧化铈水
溶液等研磨液即浆料(液体)S的浆料供给机(省略图示)。
[0035]设置于该研磨平台20的上表面的研磨板40具有树脂制的缓冲板部41、铝制的支承板部43、研磨垫45，通过将这些缓冲板部41、支承板部43以及研磨垫45按顺序重叠来构成。作为研磨垫45，例如使用聚氨酯泡沫型、绒面革型的研磨垫。在该研磨板40形成有贯通正面和背面的流路47，这些流路47与研磨平台20的浆料供给孔33连通。
[0036]研磨平台20的上表面的研磨板40通过抽吸泵进行工作，由吸引孔31吸附而保持于研磨平台20的上表面。并且，通过停止抽吸泵的工作并解除吸引孔31的吸引，能够进行从研磨平台20的上表面的拆卸。
[0037]并且，在从浆料供给机向研磨平台20的浆料供给孔33供给浆料S时，浆料S被送入与浆料供给孔33连通的流路47，向研磨板40的研磨垫45的上表面侧供给。由此，研磨垫45成为由浆料S浸泡的状态。
[0038]在研磨平台20的上部配置的研磨头50经由由具有自吸附作用的背衬材料等构成的片状的保持片55来保持玻璃板G。研本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种异常检测装置，具备：AE传感器，设于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台；流路，在所述加工台的上表面开口并与所述AE传感器的检测面相连；液体供给部，向所述流路供给液体，使所述液体介于所述被加工物与所述检测面之间并从所述加工台的上表面送出；以及异常检测部，基于来自经由所述液体对来自所述被加工物的弹性波进行检测的所述AE传感器的检测信号来判定所述被加工物的异常的有无。2.根据权利要求1所述的异常检测装置，其中，所述AE传感器配置于所述被加工物的载置位置的正下方。3.根据权利要求1或2所述的异常检测装置，其中，所述被加工物为玻璃板。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的异常检测装置，其中，所述液体为浆料，所述异常检测装置具有气体供给部，该气体供给部连接于将所述液体供给部与所述流路相连的供给流路，所述气体供给部每隔规定时间向所述供给流路供给气体。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的异常检测装置，其中，所述AE传感器的所述检测面和所述加工台的上表面所成的角为0
°
以上且10
°
以下。...
【专利技术属性】
技术研发人员：秋山秀，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：
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