异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种异常检测装置，具备：AE传感器(61)，设于对载置于上部的玻璃板(G)进行加工的研磨平台(20)；浆料流路(29)，在研磨板(40)的上表面(40a)开口并与AE传感器(61)的检测面(63)相连；液体供给装置(12)，向浆料流路(29)供给浆料(S)，使浆料(S)介于玻璃板(G)与检测面(63)之间并从研磨板(40)的上表面(40a)送出；以及异常检测部(17)，基于来自经由浆料(S)对来自玻璃板(G)的弹性波进行检测的AE传感器(61)的检测信号来判定玻璃板(G)的异常的有无。并且，涉及一种异常检测方法以及包括该异常检测方法的玻璃板的生产方法。异常检测方法的玻璃板的生产方法。异常检测方法的玻璃板的生产方法。

【技术实现步骤摘要】
异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法


[0001]本专利技术涉及异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法。

技术介绍

[0002]例如，在对于用于LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)或OLED(Organic Light
‑
Emitting Diode：有机发光二极管)等的平板显示器(FPD：Flat Panel Display)用的玻璃板的各种加工中，在少数情况下会在玻璃板中产生裂缝等损伤。因此，作为对玻璃板进行研磨的研磨装置，已知有具备早期对玻璃板的裂缝进行检测的检测装置的装置(例如参照专利文献1)。
[0003]该检测装置具备向玻璃板供给液体的液体供给部、配置于与液体接触的位置的AE传感器、对从检测到来自玻璃板的弹性波的AE传感器输入的AE信号进行处理的信号处理部。并且，在该检测装置中，信号处理部通过来自AE传感器的AE信号超过规定的阈值来判断玻璃板的裂缝。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开202本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种异常检测装置，具备：AE传感器，设于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台；流路，在所述加工台的上表面开口并与所述AE传感器的检测面相连；液体供给部，向所述流路供给液体，使所述液体介于所述被加工物与所述检测面之间并从所述加工台的上表面送出；以及异常检测部，基于来自经由所述液体对来自所述被加工物的弹性波进行检测的所述AE传感器的检测信号来判定所述被加工物的异常的有无。2.根据权利要求1所述的异常检测装置，其中，所述AE传感器配置于所述被加工物的载置位置的正下方。3.根据权利要求1或2所述的异常检测装置，其中，所述被加工物为玻璃板。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的异常检测装置，其中，所述液体为浆料，所述异常检测装置具有气体供给部，该气体供给部连接于将所述液体供给部与所述流路相连的供给流路，所述气体供给部每隔规定时间向所述供给流路供给气体。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的异常检测装置，其中，所述AE传感器的所述检测面和所述加工台的上表面所成的角为0
°
以上且10
°
以下。...

【专利技术属性】
技术研发人员：秋山秀，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：