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本发明涉及一种雾化装置与薄膜沉积系统，雾化装置包括主体、震荡模组及光热模组。主体设有主腔室，主体还设有与主腔室相连通的进气接头与出气接头。进气接头用于与载气管相连通，出气接头用于与反应腔室的进气口相连通。出气接头通过对接管与反应腔室连通。震...
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