下载集成电路晶体管器件的技术资料

文档序号:36368592

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本公开的实施例涉及集成电路晶体管器件。一种集成电路晶体管器件,包括:半导体衬底,提供漏极;第一掺杂区域,被掩埋在半导体衬底中提供主体;第二掺杂区域,在半导体衬底中提供源极,其中第二掺杂区域与第一掺杂区域相邻;沟槽,延伸到半导体衬底中并且穿过...
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