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本实用新型公开了一种精密调节气体分布的气管机构，包括总气管，所述总气管上开设有多个出气孔，各个所述出气孔等距排列设置在总气管上。本实用新型的精密调节气体分布的气管机构，对真空镀膜炉的内部进行气体输送的过程中，因各个分气管的一端位于相邻的两个...
该专利属于惠州市常兴荣科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠州市常兴荣科技有限公司授权不得商用。

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