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本发明涉及一种利用副产物再生三甲硅烷基胺的反应装置和方法，所述方法包括如下步骤：均匀混合二甲硅烷基胺、氯硅烷与溶剂，然后匀速通入氨气；氨气通入结束后，反应至氯硅烷消耗完毕，得到反应液；减压蒸馏所得反应液，氨气收集在冷阱中，轻相储罐中得到蒸馏...
该专利属于天津绿菱气体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津绿菱气体有限公司授权不得商用。

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