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一种多晶硅还原尾气回收系统技术方案
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文档序号:36351942
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本实用新型公开一种多晶硅还原尾气回收系统,属于多晶硅生产尾气处理技术领域。包括粗过滤装置、压缩冷凝装置、精馏塔、换热器和高沸裂解反应器,精馏塔与换热器之间设有精密过滤器,精密过滤器与精馏塔上出料口连接,换热器与精密过滤器上出料口连接,高沸裂...
该专利属于云南通威高纯晶硅有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云南通威高纯晶硅有限公司授权不得商用。
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