一种多晶硅还原尾气回收系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种多晶硅还原尾气回收系统，属于多晶硅生产尾气处理技术领域。包括粗过滤装置、压缩冷凝装置、精馏塔、换热器和高沸裂解反应器，精馏塔与换热器之间设有精密过滤器，精密过滤器与精馏塔上出料口连接，换热器与精密过滤器上出料口连接，高沸裂解反应器连接有产品液暂存罐，产品液暂存罐与多晶硅生产车间中的精馏工段连接，粗过滤装置、压缩冷凝装置、精馏塔、精密过滤器、换热器、高沸裂解反应器、产品液暂存罐及多晶硅生产车间中的精馏工段之间形成还原尾气回收再利用的连续通路。在实现资源回收再利用的前提下，保证对还原尾气进行有效的处理，同时，保证各工序的稳定性，且避免产生树脂燃烧等不安全现象。且避免产生树脂燃烧等不安全现象。且避免产生树脂燃烧等不安全现象。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原尾气回收系统


[0001]本技术涉及一种多晶硅还原尾气回收系统，尤其涉及一种多晶硅还原尾气中高沸物回收系统属于多晶硅生产尾气处理


技术介绍

[0002]在多晶硅生产过程中，还原炉产生的还原尾气经硅粉过滤装置过滤后，再经压缩冷凝为液体的部分称为还原回收料，还原回收料中包括一定含量的高沸物（高沸物在还原炉中产生，高沸物含量＜0.01%，沸点高于SiCl4）和微量的超细硅粉（硅粉过滤装置未拦截成功）。目前，一般将含有高沸物和微量硅粉的还原回收料输送至精馏塔内进行分离提纯，沸点高的高沸物和微量硅粉从塔釜随SiCl4一起排出（高沸物含量约1%），然后，将含有高沸物和微量硅粉的SiCl4直接输送至冷氢化工序回用，或作为冷氢化渣浆再做后续处理，但由于其中含有微量硅粉，这就会影响所涉及设备的使用寿命，或者，增加后续处理系统消耗，增加成本等。
[0003]现有技术CN208130781U中公开“处理多晶硅还原尾气的系统”，该系统包括：吸收塔，吸收塔具有多晶硅还原尾气入口、四氯化硅入口、氢气出口和含氯化氢富液出口；精馏塔，所述精馏塔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原尾气回收系统，包括粗过滤装置（1）、压缩冷凝装置（2）、精馏塔（3）、换热器（5）和高沸裂解反应器（6），粗过滤装置（1）设在还原炉（8）的工位后侧，粗过滤装置（1）通过还原尾气回收管（9）与还原炉（8）上尾气出口连接；压缩冷凝装置（2）设在粗过滤装置（1）的工位后侧，压缩冷凝装置（2）与粗过滤装置（1）上出气口连接；精馏塔（3）设在压缩冷凝装置（2）的工位后侧，精馏塔（3）与压缩冷凝装置（2）上液体出口连接；换热器（5）设在精馏塔（3）的工位后侧，换热器（5）与精馏塔（3）上出料口连接；高沸裂解反应器（6）设在换热器（5）的工位后侧，高沸裂解反应器（6）与换热器（5）连接，其特征在于：所述精馏塔（3）与换热器（5）之间设有精密过滤器（4），精密过滤器（4）与精馏塔（3）上出料口连接，换热器（5）与精密过滤器（4）上出料口连...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈文欣，刘阳，曹奇刚，祁玮煜，高元，汪云清，杨成，
申请(专利权)人：云南通威高纯晶硅有限公司，
类型：新型
国别省市：