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本发明涉及一种金属嵌入式微纳米薄膜温度传感器制作方法，属于传感器技术领域。传感器包括保护层I、保护层II、导电种子层I、导电种子层II、粘结层I、粘结层II、绝缘层I、绝缘层II、传感层和环氧树脂。制作方法为：通过电镀、旋涂、光刻、磁控溅射...
该专利属于中冶赛迪技术研究中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中冶赛迪技术研究中心有限公司授权不得商用。

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