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本申请提供一种深紫外偏振曝光装置、辐照损伤测试装置及测试方法，曝光装置包括：能量监测单元、光源组件、分束单元、偏振态控制单元、缩束单元和曝光区；光源组件用于向深紫外偏振曝光装置提供均匀分布的深紫外光束；深紫外光束经分束单元后被分束为监测光束...
该专利属于上海镭望光学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海镭望光学科技有限公司授权不得商用。

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