下载一种基于Mn掺杂氧化镓的阻变存储器及其制备方法的技术资料

文档序号:36342836

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本发明提供了一种基于Mn掺杂氧化镓的阻变存储器及其制备方法,本发明的制备方法将含有镓和锰的聚合物溶液均匀的涂覆在Si/SiO2/Pt衬底上,再将其置于氧化性气氛中进行热处理得到表面平整均匀的Mn掺杂氧化镓非晶薄膜(a
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