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集成有硅穿孔的静电放电保护单元和天线制造技术
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文档序号:36329604
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本申请涉及集成有硅穿孔的静电放电保护单元和天线。一种半导体器件,包括:硅穿孔(TSV),在衬底中的TSV区域中,并且TSV延伸穿过衬底;ESD单元,靠近TSV的第一端并与TSV区域接触,ESD单元包括彼此并联电连接的一组二极管;天线焊盘,电...
该专利属于台积电(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台积电(中国)有限公司授权不得商用。
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