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本实用新型公开了一种直拉单晶炉在线式热场再生系统，属于半导体技术领域；包括载气提供装置和工艺气体提供装置；载气提供装置和工艺气体提供装置通过进气管路与直拉单晶炉副室相连接，直拉单晶炉连接有抽气管路；抽气管路与直拉单晶炉的连接处位于保温筒底部...
该专利属于山西中电科新能源技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西中电科新能源技术有限公司授权不得商用。

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