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一种真空封装装置制造方法及图纸
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下载一种真空封装装置的技术资料
文档序号:36317021
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本实用新型提供了一种真空封装装置,其用以封装平面电子元件,其包括镭射封边模块、烘烤模块及连续移载模块。镭射封边模块包含承载座、透明盖板、真空泵及镭射加热镜组,承载座与透明盖板围设形成用于容置所述平面电子元件的密封腔室,真空泵连接密封腔室,且...
该专利属于位元奈米科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过位元奈米科技股份有限公司授权不得商用。
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