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本实用新型提供一种晶圆倒角机翻转调平机构，包括：支撑架、托板、倒角砂轮、旋转驱动件、伸缩支撑杆以及调平组件；所述支撑架具有相对设置的第一端和第二端，所述第一端设有旋转铰链，所述第二端设置所述调平组件，所述托板的一端可旋转地安装在所述旋转铰链...
该专利属于深圳市梦启半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市梦启半导体装备有限公司授权不得商用。

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