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本实用新型属于清洁设备领域，具体涉及一种振荡式导电环清洁装置，其包括定位架、刷扫单元、清洁液供应单元、排污单元。本实用新型通过设置刷扫单元和清洁液供应单元，利用刷头的振荡运动，实现对导电环表面高频次反复刷扫，确保导电环表面杂质全部清除，有效...
该专利属于晟盈半导体设备（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晟盈半导体设备（江苏）有限公司授权不得商用。

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