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本实用新型公开了一种用于化学气相沉积炉的分散排气结构，涉及化学气相沉积技术领域，所述化学气相沉积炉内设有马弗筒，所述马弗筒的上端中部设有排气口，所述马弗筒内设有均流盖板，所述均流盖板位于排气口的下方，均流盖板的边缘贴于马弗筒的内壁，均流盖板...
该专利属于山东伟基炭科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东伟基炭科技有限公司授权不得商用。

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