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本实用新型提供一种用于MOCVD设备的过滤装置，包括滤筒、隔板、气体入口、屏蔽结构、滤芯以及气体出口，隔板位于滤筒内将滤筒的内部空间分为滤芯过滤区及位于滤芯过滤区下方的粉尘颗粒捕集区，隔板的中间区域开设有通气孔以使来自粉尘颗粒捕集区的气体通...
该专利属于上海悠合悠合科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海悠合悠合科技有限公司授权不得商用。

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